高真空多靶磁控溅射镀膜机

高真空多靶磁控溅射镀膜机
型号:JCP350
功能:JCP350高真空多靶磁控溅射镀膜机拥有直流和射频两种电源。直流磁控溅射适用于溅射导体靶材沉积镀膜,例如金属靶材,其特点是比较快;射频磁控溅射适用于溅射导体半导体以及绝缘体靶材镀膜,例如氧化物靶材。

微纳光子学与材料国际实验室